三星SK海力士双双力推 DRAM制造进入EUV时代

  韩国半导体行业正在准备迎接新的飞跃,全球DRAM市场领头羊三星电子和SK海力士即将开启“EUV DRAM”时代。据韩国科技媒体ETNews报道,三星电子全新半导体工厂“平泽2号”(P2)已于上月开始运营,这座当前世界上最大的半导体工厂将生产全球首个基于EUV的移动DRAM产品。

  SK海力士方面,也已在加速推进其基于1a工艺的EUV DRAM产品量产计划。SK海力士将在其下一代DRAM的生产基地M16芯片厂批量生产EUV DRAM,目前已经在园区内安装了两台EUV光刻机。EUV是一种波长为13.5纳米的短光源,其波长大约是今天广泛使用的ArF光源的十分之一,能够在半导体晶圆上刻画出更加精细的电路。由于简化了半导体制造工艺,EUV能够将制造精细电路所需的光刻工艺减少一半,并大幅提高生产率。随着EUV技术运用范围的扩大,相关产业链公司有望迎来机遇。

  相关EUV光刻机概念公司:

  英唐智控(行情300131,诊股):拟收购的日本芯片半导体光刻机先锋微电子的股份;

  苏大维格(行情300331,诊股):光刻设备主要为紫外光刻直写设备,公司光刻机从设计、组装以及所用软件的开发,均由本公司自主完成,主要用于柔性电子、MEMS以及半导体上游器件等产品的研发与制造。

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